作者：高旭,李舒航,马庆林,陈伟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》2019年第04期 页数：12页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA2019040040 DOC编号：DOCZGGA2019040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 精密测量是精密机械加工的基础，是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一，在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小，测量分辨率高等优点，在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理；其次，综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状；再次，对比分析了几种最具有代表性的测量技术，总结其优缺点；最后，对基于光栅的精密位移测量技术进行展望，揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。

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