作者：唐小平,张晨曦,卢会湘,严英占 单位：中国电子科技集团公司第二研究所 出版：《电子工艺技术》2019年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGY2019030060 DOC编号：DOCDZGY2019030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 低温共烧陶瓷技术是实现电子设备小型化和高密度集成化的主流封装/组装集成技术，产品可适用于高温等条件下的恶劣环境。讨论了微机械LTCC基加速度计中悬臂微梁的制造方案，剖析了面临的工艺问题，通过工艺探索和研究实现了两种结构的LTCC基悬臂微梁的制造。该结构可应用于LTCC基加速度计和传感器等微系统器件，用于构建LTCC智能微系统集成平台。

    📙 相关资料

    1. 《国际高技术市场》PDF+DOC 据英刊《制造业计算机解决方案》报道，美国著名的市场预测公司AMR曾于1998年11月预测，今后几年全球的企业资源计划(ERP)市场规模预计将继续以35％年增长率增长。此后不久，1999年3月又修正为25％(1998～2003年)。几乎与此同时，另一家国际著名的信息技术预测公司Dataquest于19......
    2. 《微电子机械系统(MEMS)发展展望》PDF+DOC 本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论，并扼要论述其重要意义...
    3. 《硅的微动态结构》PDF+DOC 实验证明可以做出转子直径为0.1mm的电动电机，它为微系统的发展开辟了前景。在用IC工艺做出的材料上形成机械结构，并由此做出精细的器件。这表明，有可能设计出高性能的传感器和致动器，并且能与片上电路相结合。这项研究可能会导致新一代的对工程设计有巨大影响的微系统。这种来源于IC工艺的特殊有效的技术是采用......
    4. 《模态测试用传感器——ZK型阻抗头的研制》PDF+DOC 近年来，随着现代工程技术的发展，各种机械结构的振动问题日益突出，在旋转机械、机床、汽车、工程机械以及土建工程等行业中，各种振动问题也正日益受到重视，振动分析已成为当务之急。机械阻抗法是当代分析振动问题、研究结构动力学及进行结构模态分析的有效方法之一。机械阻抗是描述和确定结构动态特性的重要特征量，它表......
    5. 《我国应加快启动对微型导弹的研究》PDF+DOC 介绍了微型飞行器的发展现状 ，提出了微型导弹的基本构思以及各分系统实现的可能途径 ，并对今后如何加快发展我国微型导弹提出研究意见...
    6. 《MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势》PDF+DOC MEMS是多种学科交叉融合的前沿高新技术，MEMS具有体积小、质量轻、耗能低、惯性小、响应时间短等许多优点，在汽车电器电子技术中具有重要的用途。本文介绍了目前MEMS发展的国内外状况，并对MEMS在汽车电器电子技术中的应用、发展趋势及其对汽车电器电子技术的影响进行了分析与探讨。...
    7. 《关于微机电系统研究》PDF+DOC 微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ，人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在此基础上 ，提出和论述了未来发展中的几个关键问题...
    8. 《一种识别雷达用半集总参数LTCC双工器》PDF+DOC 介绍了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)工艺研制而成的小型化半集总高隔离度双工器。该双工器由L波段集总参数低通滤波器和X波段阶跃阻抗(SIR)分布参数带通滤波器组成。通过电磁仿真软件的仿真优化，实际加工滤波器的测试结果与软件仿真结果吻合。其中低通滤波器1dB截止频率为1.46GHz，带通滤波器中心频率......
    9. 《国外航空微系统的研究应用》PDF+DOC 微系统对国防科技的发展有着革命性的影响，是未来增强国防实力的重要支撑技术。随着航空机载设备多功能化、微型化、飞机结构智能化以及无人机、微型飞行器的发展，未来航空机载设备和武器系统将更加依赖高集成度的封装器件，并将广泛采用可以执行各种功能的微系统器件来改善其性能，实现轻量化、小型化、精确化。...
    10. 《基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制》PDF+DOC 将微机械加工工艺与混合集成技术相结合，设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体，集成后的体积为45mm&#215；45mm&#215；15mm，实现了传感器的数字化、小型化和模......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。