作者:王臻,王伟,杨明,任海燕,马亚军 单位:中国运载火箭技术研究院 出版:《导弹与航天运载技术》2016年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDDYH2016010280 DOC编号:DOCDDYH2016010289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《无介质硅压阻式压力/压差传感器的研制》PDF+DOC2015年第04期 王臻,李文璋,王彦奎,朱廷伟,刘书选 《单向差分压力和双向差分压力传感器的测量》PDF+DOC2016年第05期 N.Rauch,施林生 《传感器系统在微型飞行器上的应用》PDF+DOC2017年第05期 侯素娟,曹勇 《硅压阻压力芯体恒压激励输出特性与温度补偿研究》PDF+DOC2017年第05期 章建文,徐留根,全建龙,彭春增,涂孝军 《电子探空仪气压传感器特性》PDF+DOC2011年第06期 张伟星,王晓蕾,陈晓颖,陈瑞林 《硅压阻力敏传感器滞后效应的实验研究》PDF+DOC 郭楠楠,李卫东 《高可靠性压差传感器的设计与测试》PDF+DOC2018年第05期 陈玉玲,史岩峰,张艳华,张巧寿 《新一代麦克风(声传感器)的发展》PDF+DOC1996年第03期 白韶红 《硅压阻压力传感器在地下水监测中的应用》PDF+DOC2012年第12期 冯建华,袁爱军,张磊 《数字式气压传感器静态性能测试与评估》PDF+DOC2013年第06期 王晓蕾,马祥辉,杨长业,陈晓颖,陈振涛,孙学金
  • 根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求,研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应,与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同,其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力,避免了硅油介质传递压力。因此,敏感芯体结构简单可靠,提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体设计、电路设计、结构设计等。传感器通过性能试验以及环境适应性试验的考核,并在伺服系统上进行相关试验,结果证明能够满足伺服系统使用要求。

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