作者:王佳玮,杨艳青,焦琛,梁颖,张卫珂 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2018年第04期 页数:9页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2018040030 DOC编号:DOCBDTQ2018040039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 以具有大的表面积及特殊的中空结构的碳纳米管(CNT)作为气敏传感器敏感层材料为基础,介绍了CNT在开发不同类型气敏传感器技术方面的最新进展。综述了CNT及以贵金属、金属氧化物、聚合物改性的CNT作为气敏传感器材料的研究现状,并以气敏传感器的灵敏度和响应速度为标准,对比了CNT与三种CNT复合材料作为气敏传感器敏感层的优缺点。总结了每种传感器的设计方法、制作工艺和传感机理,提出了CNT气敏传感器当前面临的技术挑战,并对以后CNT作为气敏传感器材料的发展进行展望。

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