作者：宫占江,王辉,孙立凯,李金平 单位：黑龙江省创联文化传媒有限公司 出版：《科技创新与应用》2018年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCXYY2018030740 DOC编号：DOCCXYY2018030749 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文章在分析风速传感器的结构和机理的基础上，进行了微型风速传感器的设计、结构研究、制作、测试，并对实验结果进行了分析。传感器的芯片是基于托马斯流速计原理，采用硅微机械加工技术制成的。将敏感元件制成微悬桥结构，加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上，降低了功耗，提高了传感器灵敏度，从而实现低风速风场测量。文章重点研究了微型风速传感器的基本结构、恒定温差控制电路和非线性补偿技术。通过流速与流速之间互换，实现风场测量。

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