作者：魏宏波,高红卫 单位：宝鸡文理学院 出版：《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》2019年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJWX2019030140 DOC编号：DOCBJWX2019030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题，为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析，论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状，归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术，提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高MEMS谐振式加速度计性能的必要途径。

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