作者：王峥,郭海平,庞振江,徐绥召,王海宝 单位：哈尔滨电工仪表研究所有限公司;中国仪器仪表学会电滋;测量信息处理仪器分会 出版：《电测与仪表》2018年第17期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDCYQ2018170220 DOC编号：DOCDCYQ2018170229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微弱电流的检测，提出了一种单芯片微弱电流传感器，其原理是：利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件，并将电流导体和TMR元件进行集成，以减小电流导体与磁场敏感元件的间距，提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺，通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构，研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器，为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。

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