作者：杨聪,王志伟,赵炎,周健,康岩辉 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2018年第12期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2018120010 DOC编号：DOCYQXB2018120019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 坐标测量机(CMM)是最常用的长度测量仪器，但在面对复杂结构工件的高精度测量时，配备单一接触式测头的坐标测量机往往无法完全满足测量需求。针对这种情况，本文研制了一种亚微米级的高精度复合式坐标测量机。该仪器集成接触式测头、影像测头和光谱共焦测头，充分利用每种测头各自的优势，实现复杂工件的快速高精度测量。本文介绍了高精度复合式坐标测量机测量精度影响因素的处理方法，完成了测量机的机械结构设计，进行了几何误差和热误差补偿，对测量机3种测头进行了独立标定及融合标定。精度验证测试结果表明，所研制的复合式坐标测量机测量精度可达到亚微米级水平。

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