作者：张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019070050 DOC编号：DOCBDTQ2019070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于仿生学原理，设计了一种仿侧线神经丘的微电子机械系统(MEMS)矢量水听器。该水听器采用环形纤毛模拟鱼类侧线神经丘中的纤毛束与胶质顶，通过4个十字梁与集成在梁上的压敏电阻将声信号转换为电阻变化量，由电阻构成Wheatstone电桥将电阻变化量转换为电压信号。使用ANSYS软件对水听器结构进行了仿真，得到环形纤毛的结构参数。制作了水听器样机，通过比较校准法进行测试。测试结果表明该水听器带宽为20～1 000 Hz，灵敏度达到了-179.81 dB@1 kHz，在带宽内较单个十字梁与纤毛结构的纤毛式矢量水听器平均提高了15.55 dB，测试结果与仿真结论基本一致。

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