作者：侯志坚 单位：东南大学 出版：《电子器件》2018年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2018060070 DOC编号：DOCDZQJ2018060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对低频加速度信号的高灵敏检测，设计了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置。研究了永磁体质量块周围磁场的分布情况，通过有限元仿真的方法对PDMS材料制备成的薄膜支撑结构在不同载荷下进行应力分析。搭建了基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置，并采用静态测试的方式对加速度传感装置的灵敏度进行了分析，得到的灵敏度为4.68 Gauss/gn。最后对装置的固有频率以及能实现的检测分辨率进行了测试分析，结果显示固有频率为10 Hz，可以实现的检测分辨率为8.57μgn。

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