《GaAs基霍尔传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:董健方,彭挺,高能武,金立川,钟智勇
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《半导体技术》2018年第08期
页数:12页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTJ2018080010
DOC编号:DOCBDTJ2018080019
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霍尔传感器作为磁传感器的重要成员,广泛应用于汽车电子和无线通信等电子系统。与以第一代半导体材料硅、锗等为基底的霍尔传感器相比,GaAs基霍尔传感器具有更高的磁场分辨率、灵敏度和稍好的温度特性。概述了GaAs材料在霍尔传感器领域的优势及霍尔单元形状的研究进展;综述了采用外延工艺制备的单外延结构的GaAs基霍尔传感器和异质结构的GaAs基霍尔传感器的研究进展;详细介绍了电压偏移消除技术的研究进展,包括结构的优化、正交对消补偿和旋转电流技术;最后对GaAs基霍尔传感器的发展趋势进行了展望。
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