作者：李明骏 单位：中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 出版：《安全、健康和环境》2018年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSAFE2018120250 DOC编号：DOCSAFE2018120259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 综合分析了3类气体传感器在微泄漏在线监测的应用效果，研究基于微机电系统(MEMS)的差压传感检测技术，分析MEMS差压传感器性能，通过模拟法兰微泄漏实验得到差压传感器的响应特性，表明应用MEMS压差传感技术可以更为有效的监测法兰微泄漏，并具备低功耗、高灵敏度的优点，为法兰微泄漏监测系统的研发与应用提供依据。

    📙 相关资料

    1. 《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC 研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构，间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线，并对传感器进行了标定。测试结果表明：在0~20 L/min的流量范围内，传感器......
    2. 《微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用》PDF+DOC 本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理，对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述，并对该类传感检测技术的前景做了展望，为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考。...
    3. 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC 本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统，系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源，是单片式电容硅基微传声器，借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器，实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面，借助长光程气体池、光路系统，对光源、检测器进一步优化，通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件，在线监测化......
    4. 《曲轴箱窜气量检测仪的研制》PDF+DOC 介绍了车用压差式气体流量传感器的结构设计和电测电路 ，指出了传感器的使用范围 ，由实验测出了特性曲线 .该仪器可检测车用发动机曲轴箱窜气量 ，适用于发动机不解体故障诊断 。...
    5. 《大流量压阻式流量传感器的研制》PDF+DOC 根据流体力学差压原理 ，采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ，该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力...
    6. 《基于曲线拟合的小量程气体流量传感器》PDF+DOC 开发了一种小量程的气体流量传感器。介绍了传感器系统的结构与工作原理，并对传感器系统进行了实验验证。实验结果表明：在常温与常压条件下，传感器工作正常，且气体流量的绝对误差不超过0.30mL，相对误差不超过7.4%。它不仅是一种气体传感器，还是一种气体流量或流速传感器。该传感器具有快速响应、高灵敏度、便......
    7. 《传感技术在变压器在线监测中的应用》PDF+DOC 介绍了变压器在线监测系统的结构模型，阐述了传感技术与人工智能相结合，加强变压器在线监测能力的理念。...
    8. 《差压式流量传感器测量一般气体流量时的温度压力补偿方法》PDF+DOC 简要介绍使用差压式流量传感器进行一般气体流量测量时的温压补偿方法；指出了差压方式流量传感器测量一般气体的通用流量温压补偿公式，并写出了公式的推导过程；与线性流量传感器温压补偿方法进行对比，强调指出了采用差压式流量传感器时进行温压补偿的注意要点。对公用工程中的一般气体的流量计量工作有一定的指导作用。...
    9. 《一种热温差式悬空结构气体流量传感器设计》PDF+DOC 基于热温差原理，利用MEMS技术加工制备出高灵敏度微型气体流量传感器。该流量传感器采用热敏电阻器悬空结构，其热隔离性能较好，并利用温度系数大的VO2制备热敏电阻器；同时，利用机械性能和密封性能好的SU—8胶制备气流沟道，工艺简单，稳定性好，且成本较低，适合批量生产。实验表明：当传感器处于适当偏压下时......
    10. 《智能化中压开关柜的监测和传感技术(二)》PDF+DOC 文章综述了用于中压开关柜监测、测量的两大类传感器：电流和电压测量保护用传感器；非电量数值传感器。新型的电流和电压传感器优越性明显，在解决了细节及接口问题后，将逐渐安装使用。非电量数值传感器技术是将开关柜“定期”维护转变为“按状态”维护的关键技术，有很好的应用前景。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。