作者：陈洪芳,王亚韦,石照耀,叶勇,付瑛 单位：上海电气自动化设计研究所有限公司;上海市自动化学会 出版：《电气自动化》2019年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDQZD2019050270 DOC编号：DOCDQZD2019050279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了保证激光追踪测量系统的平稳、快速、实时性测量等要求，研制了激光追踪测量电气控制系统。利用四象限光电传感器(quadrant photo-detector，QPD)对激光束光斑偏移量进行实时测量，将光斑偏移量通入可编程多轴运动控制器(programmable multi-axis controller，PMAC)中进行处理，并结合伺服电机构成闭环系统，采用工程整定方法调节PID，实现测量系统的平稳追踪测量。试验结果表明，控制系统运行平稳、追踪性能良好，激光光斑返回四象限光电传感器中心的平均时间为0.259 ms。

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