作者：佟盟,田文杰,陈福彬,冯洁 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019100180 DOC编号：DOCCGQJ2019100189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 根据石英晶体压电效应及各向异性的特点，基于Comsol Multiphysics软件进行有限元仿真分析得到径向力作用时AT切石英晶体薄圆片内各点的应力分布特点。通过应力分布特点设计制作了在同一晶片上的集成式六电极石英谐振器，并基于此谐振器设计制作了水平姿态传感器的转换结构初样。根据共模抑制原理，通过差频处理来抑制温度以及其他相关因素的干扰。室温下，样品放置在倾斜台并连接至谐振电路，旋转倾斜台并测量样品在不同倾斜角度时谐振器的谐振频率。实验结果表明：样品在-90&#176；～90&#176；之间谐振频率变化稳定，输入—输出关系线性良好，可用于姿态检测的敏感元件。

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