作者：张虹,郭世旭,王月兵,赵鹏,武珺 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018120240 DOC编号：DOCYBJS2018120249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对热丝式MEMS质点振速传感器应用到水下时，其灵敏度严重衰减的问题，提出了一种双圆柱增敏结构，通过流体仿真分析，优化了增敏结构设计，并设计了一种水下应用的封装结构。在空气半消声室及矢量水听器水下驻波场校准装置中的测试表明，其在20～2 000 Hz频段内，增敏结构对声波信号放大约10 dB，研制的矢量水听器工作频段为20～800 Hz，灵敏度达到-199 dB。

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