作者：杨晋玲 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2019年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2019090150 DOC编号：DOCSYCS2019090159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为满足目前对水下金属、蛙人等检测的应用需要，设计一种用于水下金属探测成像的压电式微机械超声换能器。在该结构中，在顶部电极和下电级之间插入AlN层，用于发射和接收超声。当测试距离达到10 m以上就可以满足实际应用需求，而该换能器经过实验得出最远的测试距离为12.8 m，且在12.8 m处测试值与理论值误差仅为0.67 cm，完全可以达到实际检测需要。在一个标准大气压下，利用微系统激光分析仪MSA400对该传感器进行膜位移测量，其测量值为0.28μm，与理论结果误差为1%。并且详细介绍该传感器的工艺实现过程。利用该传感器实现二维水下超声成像，证明水下存在金属矩形物体。该实验有利于水下超声成像系统的建立。

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