作者：靳夏文,李瑞君,王鹏宇 单位：合肥工业大学 出版：《合肥工业大学学报(自然科学版)》2019年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEFE2019050070 DOC编号：DOCHEFE2019050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章设计了一种适用于微纳米三坐标测量机(coordinate measuring machine，CMM)的光学接触式探头，介绍了该探头的结构和原理，并建立了探头的灵敏度模型；依据三维方向等刚度和等灵敏度的原则，得出了探头结构的最优参数；对探头刚度进行仿真验证，并对探头在三维方向上的灵敏度和重复性进行了测试。实验结果表明，探头在三维方向灵敏度约为0.26 V/μm，灵敏度近似相等且线性度良好，重复性优于14 nm。

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