作者：杨乐,张亚 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019020190 DOC编号：DOCCGQJ2019020199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过测试电容值的变化来分析电容式微超声波换能器(CMUT)的发射性能。介绍了CMUT的工艺过程，关键工艺为硅硅键合。利用硅硅键合工艺制作的CMUT误差小、工艺流程简单且能进行量产。利用E4990A阻抗分析仪测试CMUT电容值得到CMUT初始电容值为680 p F，阵列内电容值一致性良好，误差为0. 62 p F，并对所设计的CMUT进行带宽测试，得出其在-6 d B时归一化带宽为200%，远远优于现有的传感器。

    📙 相关资料

    1. 《电容式微超声波换能器的设计与电容值测试》PDF+DOC 该文通过对电容式微超声波换能器电容值测试分析了传感器的电容性能。该文设计的电容式微超声波换能器是由电容阵列组成的，主要是利用电容的改变来实现能量的转换。它是基于硅硅键合技术的微机电系统的电容式超声传感器，由其制作的传感器误差小、工艺流程简单且能进行量产。利用E4990A阻抗分析仪测试传感器电容值在工......
    2. 《关于微弱电容传感信号读取电路技术的探讨》PDF+DOC 近几年微机电系统发展迅猛，微电容传感器的电容信号更加薄弱，其检测技术已经成为了电容式传感器发展和应用的瓶颈。因此，微弱电容传感信号读取电路技术成为了人们关注的焦点。本文主要对微弱电容传感信号的检测方法、基于TDC微弱电容传感信号读取电路技术设计的问题进行研究。...
    3. 《微型FAIMS生化传感器的设计与制作》PDF+DOC 根据高场非对称波形离子迁移谱(high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry，FAIMS)原理，设计了一种微型生化传感器.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行电离，紫外灯发射的光子能量为10.6 eV，波长116.5 nm.迁......
    4. 《微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备》PDF+DOC 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器的基本参数，而后在制备中，发展了一种新型的硅基薄膜制作方法，即利用硅-玻璃键合工艺，结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法，得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜，为......
    5. 《新款Dow Corning~(道康宁)DA-6650芯片黏合剂着力提升高灵敏度MEMS传感器产量和可靠性》PDF+DOC 2017年5月18日，密歇根州米德兰市—陶氏化学全资子公司、全球有机硅、硅基技术领导者道康宁今日宣布推出一种先进新型材料，进一步丰富了其日益增长的微机电系统(MEMS)传感器解决方案产品组合。新型道康宁DA-6650芯片黏合剂将低模量特性、宽温度范围与专利填料技术相结合，可以最大幅度地减少小型MEM......
    6. 《道康宁推出新型芯片粘合剂》PDF+DOC 5月18日，道康宁宣布推出一种先进新型材料，进一步丰富了其微机电系统(MEMS)传感器解决方案产品组合。新型Dow Corning~ DA-6650芯片粘合剂将低模量特性、宽温度范围与专利填料技术相结合，可大幅度地减少小型MEMS芯片在封装装配过程中的开裂现象。道康宁的新型粘合剂适用于单一或堆叠芯......
    7. 《微机电系统的发展及其应用》PDF+DOC 微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ，是面向 2 1世纪的高新科技 .介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容 ，综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域 ，并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内......
    8. 《一种变面积型差动电容加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器.该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的改变来检测加速度的大小，保证输出电压与加速度之间的线性度.对加速度传感器进行结构设计和分析，介绍加速度传感器的工艺流程.测试结果表明，该加速度传感器的灵敏度较好，谐振频率与理论计算相吻合。...
    9. 《MEMS加速度传感器在微型特种机器人中的应用》PDF+DOC 提出一种基于MEMS加速度传感器LIS3LV02DL的特种机器人姿态测控和环境感知方案。阐述了系统硬件组成，分析了传感器姿态测控方法和环境感知原理。为提高加速度传感器工作精度，设计了一种加速度传感器校正方法。试验结果表明：该加速度传感器能较好地感知机器人运动的姿态与方向，并实现机器人着陆姿态调整和外......
    10. 《基于侧壁压阻式的位移传感器研制及应用》PDF+DOC 为了提高面内运动位移检测的灵敏度和改善侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题，研究了一种可用于面内运动位移检测的传感器，提出了利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法.侧壁压阻式位移传感器的灵敏度比在检测梁表面制作压阻的传统位移传感器高近一倍.同时把位移传感器集......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。