作者：韩超,赵玉龙,李村 单位：北京航天控制仪器研究所 出版：《导航与控制》2019年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDHKZ2019040110 DOC编号：DOCDHKZ2019040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大，故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构，包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作，敏感单元为全石英材料，硅结构与石英结构键合到一起，结构加工完成后去除硅材料，以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称，包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁，芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度，并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性，仿真的差动灵敏度为35Hz/g。

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