作者：赵雨露,夏豪杰,张瑞 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2019年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2019050280 DOC编号：DOCGJJS2019050289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高光栅尺的测量精度和分辨率，对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究。分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素，根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差，利用CORDIC算法对修正后的信号进行细分。处理过程在LabVIEW环境下进行，利用FPGA模块实现信号实时处理，并与XL-80干涉仪比对验证该处理可有效补偿信号中的各类误差，且测量相对误差不超过&#177；2μm。

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