作者：刘茂旭,何怡刚,邓芳明,李兵,张利华,吴翔 单位：中国电子学会 出版：《电子测量与仪器学报》2015年第08期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZIY2015080130 DOC编号：DOCDZIY2015080139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对融合RFID的无线湿度传感器节点设计的需求，采用中芯国际0.18μm CMOS工艺设计并制造了一种集成湿度传感器节点。该传感器节点采用湿度传感器与其它标签电路集成设计，制造成本低。湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料，利用顶层金属层制作叉指结构电极，无需任何后处理工艺。整流电路采用自偏置结构降低了MOS开关管的有效导通电压，避免了高成本肖特基工艺的使用。接口电路基于锁相环原理，采用全数字电容-数字直接转换结构，能够工作在超低电源电压下。后期测试结果显示，该无源湿度传感器标签在常温下灵敏度为18.75 f F/%RH，最大回滞偏差7%，整体功耗约为4μW，在阅读器发射功率为2 W条件下，最大工作距离达到14 m。

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