作者：孟瑶,周启武,郑方燕,刘小康,施海 单位：重庆理工大学 出版：《重庆理工大学学报(自然科学)》2019年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGGL2019060100 DOC编号：DOCCGGL2019060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 纳米时栅采用交变电场构建匀速参考系，实现空间到时间基准的溯源，提高了测量精度。提出一种基于交变电场的直线式位移时栅传感器。为进一步提升传感器测量精度并实现高精度测量，研究了电气参数对纳米时栅精度的影响，分析了传感单元之间的阻抗特性。针对影响电场分布的阻抗进行分析研究，首先建立传感器的电路模型，依据对电路方程的推导以及电气参数的仿真，分析了阻抗特性引入的误差规律。制作了传感器样机，并搭建实验平台进行了精度测试，验证了推导误差规律，同时借助时空转换原理修改激励信号参数，消除了阻抗特性带来的影响，最终传感器对极内精度达到&#177；0. 4μm。

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