《石墨烯谐振式压力传感器敏感结构研究》PDF+DOC
作者:樊尚春,张津,朱黎明
单位:郑州大学
出版:《郑州大学学报(工学版)》2019年第06期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZZGY2019060110
DOC编号:DOCZZGY2019060119
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参考硅谐振式压力传感器设计了一种以石墨烯材料为梁的谐振子,对谐振子进行了理论分析及有限元仿真,揭示了其工作机理,探究了谐振子的结构参数对灵敏度的影响规律.仿真结果表明,灵敏度随着硅膜厚度、梁长度的增加而降低,随凹槽边长、深度的增加而提高;并进一步介绍了石墨烯的制备、转移及吸附与石墨烯的高精度剪裁等谐振子加工工艺。
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