作者：王平贵,付秀华,张静,刘冬梅 单位：长春理工大学 出版：《长春理工大学学报(自然科学版)》2019年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJM2019040100 DOC编号：DOCCGJM2019040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为满足NDIR乙烷气体传感器的使用要求，对气体探测系统中的滤光膜进行研制。根据甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱，红外探测器的响应度以及系统的灵敏度确定了滤光膜的技术参数。选用Ge和Nb2O5分别作为高低折射率薄膜材料，根据拆分技术原理并借助膜系设计软件完成了滤光膜的双面设计，解决了滤光膜截止区域宽，且单面设计膜层应力过大的问题。采用直流脉冲磁控溅射真空镀膜的方法，制备的滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09%，半峰值带宽为301nm，2.5～6.3μm和7.1～10μm的平均透过率为0.13%和0.01%，减小了其余干扰气体的影响，提高了探测系统的信噪比。薄膜样品经过了附着力测试，满足系统使用要求。

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