作者：张莎莎,李慧鹏,宋凝芳,谭朦曦 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016010180 DOC编号：DOCYBJS2016010189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文中提出了一种基于FPGA的精确监控系统设计方法，应用于微机电系统(MEMS)中微位移信号的实时采集分析。系统采用高精度电容传感器作为位移敏感元件，使用CycloneⅡ系列的FPGA作为主控芯片，实现对多块模数转换芯片ADS1251的分时采集控制。将多路数据打包通过UART通信模式发送至PC机，实现-4.33~4.33μm微位移的精确监控。经Multisim12.0和QUARTUSⅡ9.0仿真验证表明：系统稳定性良好，微位移分辨率达到16.52 pm且监测误差小于0.6%。

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