作者：匡旭良,叶子,孙宁,宋小军,刘伟景 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019020050 DOC编号：DOCBDTQ2019020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 首先采用水热法制备了四种不同Sn掺杂量的一维Zn1-xSnxO纳米结构材料，然后通过介电泳纳米操控技术将制备的四种纳米结构排布到预先设计的Ti/Au电极之间，进而构建四种湿度传感器，并进行传感特性测试。通过对四种传感结构的测试结果分析发现，采用原子数分数为3%的Sn掺杂ZnO纳米材料构建的传感器具有较好的传感特性，相对湿度在11.3%～97.3%内其最大灵敏度为7 397%，响应与恢复时间均为2 s。结合湿度多层吸附理论深入研究掺杂对湿度传感特性的影响。结果表明，通过Sn掺杂对纳米结构中载流子浓度以及晶格应变的调控，可以有效改善材料的电导与表面特性，提升Zn1-xSnxO纳米湿度传感器的灵敏度、响应与恢复时间和迟滞等传感特性。

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