《线面式电容传感器结构设计与传感特性研究》PDF+DOC
作者：曾涛,鲁云峰,张钟华,陈乐,许素安
单位：中国计量测试学会
出版：《计量学报》2019年第06期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFJLXB2019060010
DOC编号：DOCJLXB2019060019
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提出了一种基于自阻尼垂向测量参考的线面式电容传感器，对垂向运动中的残留水平位移进行精确测量。线面式电容传感器利用细丝电极作为直接垂向测量参考，消除了间接参考在其转换过程包含的系统误差；同时采用细丝末端的液体阻尼器保证细丝电极的稳定性。实验表明：在0. 38～0. 4 p F范围内，线面式电容传感器的分辨力优于0. 05μm，短期稳定性约为0. 1μm。
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