作者：聂萌,陈佳琦,徐峰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2019年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2019100010 DOC编号：DOCCGJS2019100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 温度补偿是对微传感器的性能进行优化与稳定的必要技术方案。提出了一种适用于柔性压力传感器的温度漂移补偿方法及结构，选用高热膨胀系数的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅橡胶(Eco Flex)作为柔性衬底，结合基底表面微结构设计进行温度补偿。由测试结果分析，未补偿前传感器的TCR系数为-0.57%/K，在Eco Flex、PDMS、表面具有微结构的Eco Flex、以及表面具有微结构的PDMS四种基底上TCR系数分别为-0.42%/K，-0.37%/K，-0.24%/K，-0.22%/K，可知温度漂移得到有效补偿。本研究方法为柔性压阻式传感器的温漂性能优化提供了有益的借鉴作用。

    📙 相关资料

    1. 《高温高压井下压力传感器的补偿与校正》PDF+DOC 潜油电泵、油藏监测、智能井等系统需要对井下压力进行长期在线监测，压力测试装置是其一个重要组成部分，是反映采油井实时状况的一个重要参数。井下温度随着深度的增加变化比较大，选用硅压阻式传感器存在温度漂移和线性误差，因此需要对压力传感器进行温度补偿和线性化校正。由于井下环境比较复杂，井下采集电路没有CPU......
    2. 《基于自主传感器信号调理芯片温度补偿的软件设计》PDF+DOC 利用现代信号调理技术，以自主设计的信号调理芯片为核心，采用C#设计开发了硅压阻式传感器的智能误差补偿校准软件，实现了对核心补偿芯片的可视化操作与控制，解决了传统的硬件电路对压力传感器进行温度补偿的缺点。在多个温度点进行校准获取补偿曲线，得到零点及温度漂移补偿数据，解决了硅压阻式传感器一致性差、温度漂......
    3. 《谐振式压力传感器温度补偿结构的仿真研究》PDF+DOC 温度漂移是影响谐振式传感器精度的重要因素，在精密测量场合，必须进行温度补偿，基于此，提出一种可实现温度补偿的谐振式压力传感器新结构。整体结构为硅-玻璃-金属复合结构，通过3种材料的热膨胀系数匹配实现热应力抵消。硅基底上设有补偿梁，进一步补偿工作梁的温度漂移。为了选择合适的玻璃材料，利用有限元方法研究......
    4. 《多路传感器系统的软件补偿和校准技术的研究》PDF+DOC 分析了多路传感器系统的软件补偿和校准技术的发展趋势，并根据国内测试校准压力传感器的要求，对自补偿和自校准技术加以研究，同时提出了适合应用的解决方案。...
    5. 《多路传感器系统的自补偿和自校准技术的研究》PDF+DOC 分析了多路传感器系统的自补偿和自校准技术的发展趋势，并根据国内测试校准动态压力传感器的要求，对自补偿和自校准技术加以研究，而提出了适合应用的解决方案。...
    6. 《压力传感器温度漂移补偿的应用分析》PDF+DOC 压力传感器是工程中常用的测量器件，由于温度的影响，其零点经常发生漂移，因此需要对它进行温度补偿。文中介绍了硬件零点补偿和软件零点补偿两种方法，补偿压力传感器的温度漂移，提高传感器的性能及测量准确度。...
    7. 《基于MAX1452的压力传感器温度补偿》PDF+DOC 传感器精度是影响电-气比例调压阀性能的重要因素。以硅压阻式传感器为例，介绍传感器存在的温度误差，着重阐述采用MAX1452补偿其温度误差的原理，并系统介绍温度补偿的操作流程和校正系数的选择计算，通过实例分析验证压阻传感器经MAX1452补偿后，其温度误差可明显降低。...
    8. 《压阻式传感器温度补偿中几种数值分析方法的应用比较》PDF+DOC 半导体压阻传感器材料温度系数较大，较小的温度变化会对传感器性能产生较大的影响，因此需要对温度进行补偿。首先分析了压阻材料受力时输出随温度变化函数，并且通过比较不同的数值分析方法，研究在不同条件，不同精度要求情况下，几种数值分析方法各自优劣，为实际应用中使用拟合曲线对压阻传感器进行温度补偿提供一定参考......
    9. 《基于BP神经网络模型的压力传感器温度补偿》PDF+DOC 鉴于压阻式压力传感器温度漂移问题，建立了压力传感器的温度补偿BP神经网络模型，采取人工鱼群-蛙跳算法优化训练BP神经网络.实验结果表明，利用人工鱼群-蛙跳算法优化的BP神经网络模型能快速、准确地实现压力传感器温度补偿，并提高压力传感器的输出精度。...
    10. 《基于最小二乘法的压力传感器温度补偿算法》PDF+DOC 介绍了压力传感器由于受工作环境温度的影响，其零点和灵敏度经常会发生漂移，因此需要对它进行补偿；讨论了一种基于最小二乘法的补偿算法，运用该算法对温度变化后的数据进行了处理，使得传感器输出基本上不随温度的变化而改变，从而使传感器的零点漂移和灵敏度漂移问题得到了很好的解决；结果表明：该算法能起到很好的补偿......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。