作者：任泽龙,刘松,梁亨茂,李宝清,熊斌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019040250 DOC编号：DOCCGQJ2019040259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式MEMS磁传感器接口电路设计》PDF+DOC2016年第11期 高华磊,徐德辉,刘松,马颖蕾,熊斌 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC2015年第10期 薛士然 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC2017年第04期 胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品 《MEMS自动驾驶仪中的多传感器误差补偿》PDF+DOC2008年第05期 付旭,周兆英 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2010年第01期 杨川,郭灿 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC2008年第11期 李珂,于世洁,尤政,赵嘉昊 《基于MEMS加速度计的飞行器姿态识别技术研究》PDF+DOC2007年第02期 王占平,唐小宏,王亚非,高椿明,周鹰,杨立峰 《基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作》PDF+DOC2014年第05期 龙亮,钟少龙,吴亚明 《MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器》PDF+DOC2014年第04期 田武刚,胡佳飞,潘孟春,赵建强,胡靖华 《基于MEMS的无线姿态测量系统》PDF+DOC2013年第08期 吴春俊,周炳红

    • 介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征，并根据相干解调原理，设计了数字锁相放大器，其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中，通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响，利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器，顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度，其非线性度为0. 46%。

    📙 相关资料

    1. 《谐振式MEMS磁传感器接口电路设计》PDF+DOC 介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路，电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号，同时为检测电路提供同步信号；信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调，最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结......
    2. 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC 过去几年，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器(sensor)和执行器(actuator)，二者......
    3. 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重，造成很大的测量误差，改进设计了一种MEMS热式流量传感器，将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构，并相互隔离，有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器，设计了流量传感器的......
    4. 《MEMS自动驾驶仪中的多传感器误差补偿》PDF+DOC MEMS自动驾驶仪是飞行器自动飞行控制的关键设备，解算出正确的机体信息是实现飞行器自动飞行控制的前提。该文详细分析了MEMS自动驾驶仪解算飞行器信息时存在的主要误差源，通过实验数据说明了对各种误差源进行补偿的必要性；针对不同的误差源，研究了相应的误差补偿方法，包括MEMS传感器本身误差的直接补偿和多......
    5. 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器，利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型，通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟，得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数，并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的......
    6. 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC 综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理，包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。...
    7. 《基于MEMS加速度计的飞行器姿态识别技术研究》PDF+DOC 研究了一种利用多只低灵敏度的微机电系统(MEMS)重力加速度传感器实现对飞行器姿态识别的方法。通过对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D采样，获得相应的数字信号，并将其送进单片机进行处理，实现对飞行器的仰角和倾角的高精度测量，最终得到飞行器的姿态信息。该方法可实现-180&#176；~+......
    8. 《基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作》PDF+DOC 提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器，磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理，提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品，并进行了测试。测试结果表明：得到的MEMS磁......
    9. 《MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器》PDF+DOC 针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声，提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz，实现对磁场的DC/AC转化，从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品，并进行了实验测试，结果表明：磁传感器样品的......
    10. 《基于MEMS的无线姿态测量系统》PDF+DOC 介绍了姿态测量的原理，设计了一种基于多MEMS的无线姿态测量系统。重点介绍了用Kalman滤波器对数据的处理过程，即利用陀螺测量值更新上一步的结果，用加速度计和地磁传感器的测量值作为观测量，修正由陀螺得到的结果。完成了硬件电路的设计和算法的编程实现。该系统具有体积小、无线传输、精度较高等特点，可用于......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。