作者：荣锋,王一,郭翠娟,闫淑霞 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2019年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2019100060 DOC编号：DOCCGJS2019100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高涡流传感器的电感灵敏度和热稳定性，研究了探头线圈的结构、激励频率和温度对线圈电感变化率的影响。首先通过COMSOL Multiphysics仿真软件构建稳态物理模型并加入瞬态温度模块，通过参数化扫描仿真，验证该模型的合理性。其次在稳态恒温实验条件下对线圈内外半径、厚度、匝数进行仿真，得到导线直径不超过40μm、内半径0.1 mm～0.5 mm、外半径2.5 mm的60匝单层平面线圈的电感灵敏度和测量分辨率最佳。最后在瞬态变温实验条件下得到激励频率900 kHz时可以最大程度的提高传感器热稳定性和电感灵敏度，减小温度引起的误差。

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