《硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC 为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。...
2. 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC 提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器，该器件采取面内动平衡的振动模式，为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立，并利用MEMS有限元仿真软件对传感器在0～120 kPa范围以及全范围过压1.5倍下进行模拟分析与......
3. 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC 利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器 .传感器的谐振器的品质因素 Q值大于 170 0 0 .采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ，其压力测试范围为 0～ 40...
4. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
5. 《国外压力传感器市场及新产品动向(二)》PDF+DOC 美国Entran公司EPB系列微型压力传感器的不锈钢膜片直径仅0.125″，量程；2～5000psi(0.35～350巴)，过量程：50～800psi，灵敏度：2mV/psi(2psi时)，0.25mV/psi(5000psi时)，2psi时满刻度10mV，5000psi时满刻度125V。...
6. 《带有调节电路和温度补偿的硅压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种芯片上带有信号调节功能的硅压力传感器。制作时，在标准的3μmCMDS工艺过程中加入了微机械加工工艺，利用带电化学阻蚀剂的各向异性腐蚀技术，在(100)取向硅片上进行腐蚀。控制膜片厚度，使厚度容差小于0.5μm。在同一膜片上，集成了完整的CMDS测量电路。带压阻元件的惠氏电桥的输出信号由一......
7. 《产品·市场·信息》PDF+DOC 一种厚膜电阻压力传感器 国外Pupin研究院设计成一种厚膜电阻压力敏感元件，该元件是根据厚膜电阻的可逆压阻效应制成的，1973年首次报导了这种效应的存在，并于1980年发表了有关厚膜电阻压力敏感元件的论文。 这种厚膜电阻压力敏感元件是由含96％的Al_2O_3陶瓷膜片固定在同种材料制...
8. 《硅微机械谐振式压力传感器闭环方法》PDF+DOC 提高硅微机械谐振式压力传感器的性能指标有很多方法，如何对已知敏感结构的输出量程范围内所有谐振频率点进行实时闭环跟踪是其中之一。对几种比较常用硅微机械谐振式压力传感器的激励-拾振方式进行介绍，对所调研的国内外文献给出的谐振式微结构传感器闭环控制方法进行比较分析，提出一种新的针对电热激励-压阻拾振方式的......
9. 《便携式硅谐振式压力传感器数据采集系统》PDF+DOC 针对硅谐振式压力传感器的使用需要，设计了一种基于FPGA平台的便携式数据采集系统。在分析传感器工作原理的基础上，提出使用等精度测频法实现对传感器输出信号的高精度采集，并搭建了基于LabVIEW的自动测试平台。通过与标准频率计对硅谐振式压力传感器进行的对比测试表明，系统平均相对误差优于0.001%，能......
10. 《基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路》PDF+DOC 设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路，将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统。为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求，设计了带有自动扫频功能的锁相环，以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相、整形电路构成的接口电路系统，能够自动扫频寻找谐振点并锁定，扫频精度为0.01......