作者：Dale Johnson,李婷婷 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2019年第09期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2019090150 DOC编号：DOCJCDI2019090159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 1测试背景MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用，大大降低了硅晶圆制造的成本。气体传感器的功能是对一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物(如：如乙醇、丙酮和甲苯)进行精确测量。主要应用于健康和安全方面，包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统等。虽然MOX气体传感器采用MEMS技术，大大降低了制造成本，但

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