作者：申玮,张文君,廉宇琦,张国军,杨华,薛晨阳,王任鑫 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第11期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019110070 DOC编号：DOCBDTQ2019110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 国外的剪切流传感器已经趋于成熟，但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点。提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器，通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测，同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性。经过5～45℃的高低温循环实验，验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性，并通过实验测量得到电压形式的湍流数据。

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