《LPS33W防水型MEMS压力传感器》PDF+DOC

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1. 《ST防水型MEMS压力传感器瞄准消费和工业应用》PDF+DOC 意法半导体的LPS33W防水型MEMS压力传感器集化学兼容性、稳定性和精确性于一身，适合健身追踪器、可穿戴设备、真空吸尘器和通用工业感测等各种应用领域。LPS33W在圆柱形金属封装内涂覆一层粘性灌封胶，IPx8级防水，可耐受盐水、氯、溴、洗涤剂(洗手液、洗发水等)、电子液体和轻工化学品(正戊烷)。封......
2. 《一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真》PDF+DOC MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点，发展前景广阔。本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法，制备出符合要求的芯片，明确了仿真设计在MEMS压力传感器工艺设计的可行性。...
3. 《微型电容式压力传感器中的温度效应》PDF+DOC 主要介绍了利用硅?硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应，给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试，并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正，否则影响传感器的的线性工作范围。...
4. 《基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计》PDF+DOC 基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心，通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制，完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10 pF以下的固定电容和ME......
5. 《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种新型高精度高温压力传感器，此压力传感器以硅片为弹性片，敏感材料为Ni-Cr合金，利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析，再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布，研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻......
6. 《用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器》PDF+DOC 为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测，设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具，并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸，并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为......
7. 《传感器领域中无处不在的MEMS技术》PDF+DOC 从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快，特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中， MEMS发挥了巨大的作用，可用于压力和加速度测量等多种应用，这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。...
8. 《非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析》PDF+DOC 将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中，解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计，外加压力在0.2~1.4&......
9. 《MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备》PDF+DOC 设计了一种无线无源电容压力传感器。传感器采用MEMS工艺由硅-玻璃浆料-硅键合而成，独特的三层结构设计用以实现高温环境下的测量。应用有限元分析软件对传感器结构进行了仿真分析，并详细介绍了其加工工艺；引进了一种新型的非接触无源测量技术，用于检测传感器压敏电容极板间距的变化。测试结果表明，传感器可以实现......
10. 《MEMS压力传感器的可靠性评价方法》PDF+DOC MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件，是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统，因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能，还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象，并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。...