作者:蔡飞达,李红浪,柯亚兵,田亚会,卢孜筱 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2019年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2019010040 DOC编号:DOCYDSG2019010049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 针对小体积射频声表面波(SAW)传感器性能受封装影响大的问题,该文提出了耦合模(COM)模型与三维电磁分析结合的仿真方法。利用COM模型计算出芯片的单端口S参数;使用三维电磁场仿真软件HFSS对表面贴装的陶瓷封装结构进行建模,仿真计算出封装的S参数;对芯片及封装结构S参数在电路仿真软件ADS中进行结合,得出考虑封装的SAW谐振式传感器仿真结果。实验制作了工作在428.5 MHz的SAW单端谐振传感器,采用该文所述方法仿真的理论结果与实验测量结果更接近,验证了上述方法的可行性。

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