作者：夏贝贝,揣荣岩,张贺 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018120020 DOC编号：DOCYBJS2018120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现微悬臂梁传感器的自驱动自感知功能，设计了嵌套式阶梯结构微悬臂梁传感器。采用有限元分析的方法对其微梁的自由端弯曲位移和固有频率进行了仿真，研究了阶梯结构对微悬臂梁传感器性能的改善，确定了微悬臂梁传感器的阶梯结构参数。结果表明，经优化设计后的微梁传感器，微悬臂梁自由端弯曲位移可达566 nm，提高了2倍；固有频率可达385 k Hz，提高了1. 45倍。阶梯式微梁的成功设计为传感器的集成与小型化奠定了基础。

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