作者：付晓瑞,党亚辉,许立忠 单位：中国振动工程学会;上海交通大学;上海市振动工程学会 出版：《振动与冲击》2019年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCJ2019020120 DOC编号：DOCZDCJ2019020129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着谐振子尺寸的不断减小，分子力等因素的影响越来越显著，微型谐振气体传感器的谐振子实际上处于多场耦合的工作环境中。考虑分子力、热应力和吸附气体浓度的影响，建立了谐振子的多场耦合动力学方程，利用多尺度法求出谐振子固有频率和瞬时频率，研究了谐振子固有频率随分子力、吸附气体浓度以及温度的变化规律，分析了系统参数对时域动态响应的影响。利用制造出的微型谐振气体传感器及测试系统，进行了扫频实验，得到微传感器的固有频率，与分析结果接近，验证了理论分析的正确性。研究结果对于传感器进一步微型化具有指导意义。

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