《基于共振光隧穿效应的加速度传感器》PDF+DOC
作者:白刚,菅傲群,邹璐
单位:西南技术物理研究所
出版:《激光技术》2019年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGJS2019010090
DOC编号:DOCJGJS2019010099
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为了设计新型的加速度传感器,将共振光隧穿结构应用于传感元件,利用COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析,搭建了实验平台,验证了共振光隧穿原理。结果表明,基于共振光隧穿效应结构的加速传感器在100Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下,灵敏度可达到6.7dB/g。该传感器小巧轻便、结构简单,且具有较高的灵敏度,这为光学传感器的研究提供了新的方法和思路,具有广阔的应用前景。
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