作者：陈宝成,覃双,张旭,孙权,张鹏 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019100100 DOC编号：DOCCGQJ2019100109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对国内的聚偏二氟乙烯(PVDF)压电传感器仅限于实验室阶段，仍需要大量进口的现状，通过对PVDF压电特性分析，结合传感器产品的结构，进行PVDF压电传感器的制备工艺的研究。对工艺过程中的初始薄膜制备、单轴拉伸、高压极化和磁控溅射等主要工艺进行制备工艺参数的探索，获得了PVDF压电敏感薄膜，并采用聚酰亚胺材料进行封装，得到PVDF压电传感器。对该传感器进行关键参数静态压电系数d_(33)的测试，结果为13.1PC/N，获得了满足实际工程使用的PVDF压电传感器产品。

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