《温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究》PDF+DOC
作者:邹兴,黄漫国,李欣,郭占社
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》2019年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS2019060110
DOC编号:DOCIKJS2019060119
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针对硅-蓝宝石压力传感器在高温环境下测量精度较差的问题,以双层敏感膜片结构为基础,研究了温度对传感器的影响;通过对温度场及热应力的理论分析,证明了材料热膨胀系数不一致所产生的额外热应力,将引起测量误差;相应的ANSYS有限元仿真及实验也表明,温度效应对压力传感器的测试精度会产生较大的影响,且压力传感器的输出与温度值之间存在一定的规律。
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