作者：赵琴琴,江毅 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2019年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2019010050 DOC编号：DOCYBJS2019010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了满足航天、工业等领域对微型压力传感器的需求，提出了一种基于非本征型法布里-珀罗腔的光纤MEMS压力传感器。该传感器的传感头由硅片、Pyrex7740玻璃经阳极键合制作而成，传感头与光纤准直器采用紫外胶粘合。法布里-珀罗腔的长度随加载压力的增大呈线性减小趋势，从而引起干涉光谱的变化，采用白光干涉解调方法获得法布里-珀罗腔的长度。实验测试结果表明该传感器在0～1 MPa测量范围内压力-腔长灵敏度为5. 14μm/MPa，线性度达到0. 999；在传感器使用范围0～80℃内，温度灵敏度为2. 6 nm/℃。

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