作者：卞玉民,胡英杰,李博,徐淑静,杨拥军 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2019年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2019040060 DOC编号：DOCHKJC2019040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 自上世纪90年代以来，针对MEMS惯性器件的研究越来越多，MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用。本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳，分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析。对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断，认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向：高精度，以满足日益精细化、智能化的应用需求；微型化，以实现便携、分布式应用要求；高集成度，以完成多种功能高密度组合；适应性强，以适应复杂应用环境，拓宽应用范围。

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