《新型Ti_2O_3基湿敏传感器的研制》PDF+DOC
作者:张文倩,张敏,王曼,卡马勒·托克达尔汗
单位:浙江大学
出版:《材料科学与工程学报》2019年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCLKX2019020250
DOC编号:DOCCLKX2019020259
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本研究探索了Ti_2O_3的湿敏性能,通过水热法合成Ti_2O_3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti_2O_3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti_2O_3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH(相对湿度)增至95%RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级。Ti_2O_3基湿敏传感器的最大湿滞值小于2%RH,响应时间小于5。通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理。研究结果显示出Ti_2O_3在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值。
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