作者：李娟,张丛春,杨申勇,丁桂甫,董威,段力 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019050200 DOC编号：DOCCGQJ2019050209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件，对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟，通过对仿真结果对比和分析，优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统，对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明：薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致，此外，薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。

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