《德国研制柔性超薄霍尔效应传感器》PDF+DOC
作者:
单位:北京真空电子技术研究所
出版:《真空电子技术》2015年第01期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKDJ2015010080
DOC编号:DOCZKDJ2015010089
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霍尔效应传感器目前已在机器人及各种智能设备上获得广泛应用,成为一种标准的传感器。但目前常用的此类传感器为刚性材料制成,且体积较大(厚度约0.5毫米)。德国莱布尼茨固体物理与材料研究所的研究人员,用聚酰亚胺或聚醚醚酮(PEEK)薄膜材料作为基底,在其上喷射形成约230纳米厚度的金属铋层,导入微小的电极,研发出一种薄膜形状的霍尔效应传感器,这种新型传感器对磁信号的敏感性与目前常
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