作者：牟维兵 单位：西安市三才科技实业有限公司 出版：《电子设计工程》2019年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWDZ2019050090 DOC编号：DOCGWDZ2019050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了研究电容式加速度传感器在受加速度外力作用过程中其端口电流的变化情况，建立了一个电容式传感器模型。在对电容模型进行有限元固体力学分析的基础上，将有限元模型代入电路中，通过机械、电路耦合仿真的方法模拟电容传感器端口的电流变化。模拟结果清楚显示了加速度作用对电容端口电流的影响，传感器所受加速度作用大小与其电流并非简单的线性关系，还与加速度方向紧密相关。只有机电耦合的分析方法才能揭示传感器电流在加速度加载时电流的变化过程。

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