《MOS型气体传感器加热板的结构优化》PDF+DOC
作者:武一,苑丽静,花中秋,邱志磊
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2019年第10期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2019100040
DOC编号:DOCYBJS2019100049
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针对半导体金属氧化物(MOS)气体传感器功耗大的问题,对加热电极的线宽和间距做了优化,用有限元仿真软件COMSOL对加热板进行模拟分析,并对加热板温度进行测试。为进一步降低功耗,提高温度均匀性,提出在加热电极一侧添加一层电绝缘、热绝缘的包覆膜。对添加不同材料不同厚度包覆膜的加热板进行模拟分析,并用红外热像仪对加热板的温度分布进行测试。结果表明,添加包覆膜可降低功耗,提高温度均匀性,提高传感器响应速率,且包覆膜越薄越好。
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