作者：孙延玉,周岩,程振乾,李慧颖,文吉延,金鹏飞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019090080 DOC编号：DOCCGQJ2019090089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 报道了一种肖特基二极管氢气传感器。氢气在肖特基二极管的钯金属膜上发生化学吸附后，解离为氢原子，并扩散到钯金属膜内部，引起肖特基二极管的势垒下降，导致电流/电压曲线漂移，从而实现氢气的检测。本试验采用溅射方法制备钯膜，对其敏感特性进行测试，实验结果表明：对氢气响应特性好，测量范围为(0～10 000)&#215；10~(-6)。

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