《石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究》PDF+DOC
作者:袁雨桐,杨洋飞飞,赵艺远,黄文杰,谢海芬
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2019年第08期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2019080020
DOC编号:DOCCGQJ2019080029
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为提高本征石墨烯的气敏特性,将锡和氧化锡薄膜蒸镀在气相沉积法制备的石墨烯表面,制成石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器,通过原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电镜(FESEM)对其表面结构进行表征。并测试了其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO_2)气体的响应特性。研究并分析了膜蒸发速率、基底加热时间、氧气流量对传感器响应灵敏度的影响。
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