作者：李玲,岳凤英,乔霖,申恒瑞,索艳春 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2019年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2019040040 DOC编号：DOCYBJS2019040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷(PDMS)以一定比例均匀混合，随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料，PET为柔性基底，多孔弹性体薄膜为介电层，将两电极面对面层压封装，得到电容式柔性压力传感器。由于均匀孔结构的存在，薄膜介电层在压力作用下能发生较大形变。研究结果表明，基于多孔薄膜介电层的压力传感器的灵度为0.58 kPa~(-1)，具有良好的稳定性和重复性；传感器阵列能够准确地检测表面压力分布。制作的柔性压力传感器具有高灵敏度、低成本的特点，可用于人机交互界面、电子皮肤传感和细微压力变化监控等方面。

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